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蚀刻和沉积
具有用于快速结构原型的几何模型
用物理模型进行详细的工艺步骤分析
植入
具有非常快的分析模型
具有非常精确的蒙特卡罗模型
退火
配合全面的掺杂扩散模型
具有氧化模型的层次结构
应力模拟
有压力工程的压力史
通用2D / 3D设备模拟器
四面体网格,用于精确的3D几何表示
用于保形Delaunay网格的Voronoi离散化
先进的物理模型,具有用户自定义的硅和复合材料的材料数据库
应力依赖移动性和带隙模型
使用C-Interpreter或动态链接库的高度可定制的物理模型
DC,AC和瞬态分析
漂移扩散和能量平衡传输方程
自发热效应的自相关模拟,包括发热,热流,晶格加热,散热器和温度依赖性材料参数
高级多线程数值求解器库,支持分布式计算
量子校正和隧道模型
光线跟踪和FDTD光学方法
辐射效应包括单次事件不适(SEU),总剂量和剂量率
MixedMode电路/器件仿真
64位,80位,128位,160位,256位和320位精度
Atlas兼容
Silvaco的安全加密功能可以最大限度地提高客户和第三方的知识产权保护
快速的3D结构原型设计能力可以对特定的处理问题进行深入的物理分析
全面的扩散模型集:费米,fullcpl,单对和五流
应力分析的物理氧化模拟
极其准确和快速的蒙特卡罗植入模拟
Monte Carlo植入,扩散,氧化和物理蚀刻和沉积的时间关键操作的
高效多线程用于物理沉积和蚀刻的复杂多粒子通量模型与衬底材料再沉积
开放式架构允许轻松引入和修改客户特定的物理模型
无缝链接到3D设备模拟器,包括结构镜像,自适应掺杂改进和电极规格
易于学习,强大的调试模式和用户友好的SUPREM样语法
雅典娜兼容性
方便的校准平台和快速过程测试(无需运行3D进行校准) 2D模式
从1D,2D和3D模式进行自动切换
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2017-04-18 08:49 支持(7) 回复